低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質(zhì)第四態(tài)，當(dāng)外加電壓達(dá)到氣體的 放電電壓時，氣體被擊穿，產(chǎn)生包括電子、各種離子、原子和自由基在內(nèi)的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子廢氣處理設(shè)備在產(chǎn)生低溫等離子體的過程中，高頻放電所產(chǎn)生的瞬間高能足夠打開有害氣體分子的化學(xué)能，使之分解為單質(zhì)原子或無害分子；等離子體中包含大量的高能電子，正負(fù)離子，激發(fā)態(tài)粒子和具有強(qiáng)氧化性的自由基，它使活性粒子和部分臭氣分子碰撞結(jié)合，在電場作用下，使臭氣分子處于激發(fā)狀態(tài)。當(dāng)臭氣分子獲得的能量大于其分子鍵能的結(jié)合時，臭氣分子的化學(xué)鍵斷裂，直接分解成單質(zhì)原子構(gòu)成無害氣體分子。同時產(chǎn)生的大量OH、O等活性基和氣化性極強(qiáng)的O 3 ，與有害氣體分子發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，最終生成無害產(chǎn)物。低溫等離子廢氣處理設(shè)備應(yīng)用范圍比較廣，介質(zhì)阻擋放電產(chǎn)生的低溫等離子體中，電子能量高，幾乎可以將所有的異味氣體分子降解，可應(yīng)用于醫(yī)藥加工、橡膠塑料廢氣、油墨涂料廢氣、飼料和肥料加工廠、重油廢氣、各類污水處理廠等諸多行業(yè)存在的有機(jī)廢氣、異味、惡臭等污染問題。